... diode sputtering 二极管溅射 cathodic sputtering 阴极溅射 sputtering equipment 溅涂装置,溅射装置...
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(5) 阴极溅射法(Cathodic sputtering)：它是利用高能量电子之冲击将金属原子 震出欲镀金属之结晶本体而镀著在镀件表面上。
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cathodic sputtering chamber 阴极溅射腔
cathodic sputtering atomizer 阴极溅射原子化器
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The system include pulse cathodic arc ion deposition, direct current cathodic arc ion deposition, magnetic sputtering and electronic beam evaporation technologies.
该系统集脉冲阴极弧离子镀、直流阴极弧离子镀、磁控溅射和电子束蒸发等镀膜工艺以及气体和金属离子注入于一体。
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